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中美晶（5483）、合晶（6182）醞釀調漲中、小尺寸半導體矽晶圓售價時，也積極展開擴產計畫。中美晶估計今年半導體增加逾三成產能；合晶也啟動龍潭新廠建制，挹注營運。

中美晶目前半導體業務占營收逾三成，生產據點遍及台灣、大陸昆山、美國三地。其中台灣與大陸以矽晶圓生產為主，目前兩岸拋光晶圓總月產能30萬片約當6吋晶圓，平光晶圓月產能100萬片約當4吋晶圓；美國以磊晶為主要產品，月產能約20萬片6吋約當晶圓。

中美晶透露，今年兩岸拋光晶圓目標增產三成以上；美國磊晶廠則視市場狀況，有機會以倍數幅度擴產。看好客戶陸續由6吋晶圓轉換至8吋晶圓生產，中美晶也開始切入8吋領域，已進入客戶送樣階段。

合晶現階段半導體布局以台灣為主軸，月產能30萬片6吋約當晶圓，並透過上海晶盟進行磊晶加工業務。

合晶同步啟動兩岸半導體擴產計畫，台灣矽晶圓方面，預計6月時月產能由去年底的30萬片增加至40萬片（約當6吋晶圓）；大陸磊晶產能部分，第二季將由每月6.5萬片增加至8萬片，明年增至10萬片（約當6吋晶圓）。